【设备简介+案例分享】三维光学变焦轮廓测量仪

发布时间：

2024-05-10 16:15

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三维光学变焦轮廓测量仪

三维光学变焦轮廓测量仪的原理是通过光学传感器或相机，测量物体表面上不同点的距离，并将这些距离信息转化为三维坐标点，从而重构物体的三维轮廓、捕捉物体表面的三维轮廓信息。属非接触式测量物体的形状和尺寸，适用于工业制造、产品设计、质量检测和逆向工程等领域。

CEAM检测分析中心的三维光学变焦轮廓测量仪型号为Alicona InfiniteFocus G5plus，是一款高精度、高测量速度，且高度自动化的光学3D测量仪，可实现在一台测量设备中完美结合验证零部件尺寸精度和表面粗糙度测量功能。

基于 Focus Variation 自动变焦技术，该设备可完成几乎所有关于表面测量的任务。由于配备黑科技 Vertical FocusProbing 垂直聚焦探测软件，此软件是Focus Variation 自动变焦技术的拓展，可实现在水平层面垂直探测。Focus Variation 自动变焦技术的高稳定性融合防震硬件，可保证设备在大型、超重零件表面实现粗糙度和形貌测量。该设备在所有轴上均配备了高精度编码器保证平台精确移动，InfiniteFocus 同时配备自动化管理，可实现生产线全自动测量。

技术参数：

1、测量原理：无接触、光学、3D测量，基于无限变焦技术和垂直测量技术

2、定位量(XYZ)：200mmX200mmX100mm=4000000mm³

3、最大样品重量：30㎏

4、物镜参数：物镜放大倍数：2.5X/4X/10X/20X/50X/100X（以下参数相对应）

数据孔径：0.075/0.135/0.3/0.4/0.6/0.8
工作距离：8.8/30/17.5/19/11/4.5（mm）
横向测量范围：5.63/3.97/1.62/0.81/0.32/0.16（mm）
测量点距离：3.52/2.16/0.88/0.44/0.18/0.09（μm）
横向光学分辨率极限：4.35/2.42/1.09/0.82/0.54/0.41（μm）
最佳横向形貌分辨率：7.04/4.32/1.76/0.88/0.64//0.44（μm）
测量噪音：800/160/30/10/3/1（nm）
垂直分辨率：2300/450/100/50/20/10（nm）
垂直测量范围：8/28.5/16.5/18/10/4mm
垂直扫描速度：3000/3000/1000-3000/500-3000/200-2000/100-1000（μm/s）
测量速度≤1.7百万测量点/秒

5、分辨率和技术参数：物镜放大倍数：2.5X/4X/10X/20X/50X/100X（以下参数相对应)

最小可测量高度：2.3/0.45/0.1/0.05/0.02/0.01（μm）
最大可测量高度：8/28.5/16.5/18/10/4（㎜）
高度精度：（1mm）n.a./0.05/0.05/0.05/0.05/0.05（%）
可选择最佳测量范围：40000/40000/40000/24780/3965/990（mm²）
最大可测量轮廓长度：200mm
最小可测量表面线粗糙度：（Ra）7/1.35/0.3/0.15/0.06/0.03（μm）
最小可测量表面面粗糙度：（Sa）3.5/0.675/0.15/0.075/0.03/0.015（μm）
最小可测量半径：20/12/5//3/2/1（μm）
最小可测量楔角：20°
最大可测量斜面角度：无限变焦87°/垂直聚焦测量>90°

6、精度参数：平整度偏差=0.1μm，（1.6X1.6mm 使用10X镜头）

高度测量最大偏差：10000μm/误差0.4μm，1000μm/误差0.1μm，100μm/误差0.05μm，10μm/误差0.025μm，1μm/误差0.01μm
轮廓曲线粗糙度：Ra=0.1μm/误差0.025μm&0.002μm，Ra=0.5μm/误差0.04μm&0.002μm
表面粗糙度：Sa=0.1μm/误差0.02μm&0.002μm，Sa=0.5μm/误差0.03μm&0.002μm
距离测量XY：达1mm/误差0.7μm，达10mm/误差1.0μm，达20mm/误差2.0μm
楔角：70°-110°时/误差0.15°&0.02°
刃口半径：R=5维秘-20μm/误差1.5μm&0.15μm